国家标准 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
起草单位:峨嵋半导体材料研究所。
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