国家标准 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
起草单位:中科院上海冶金研究所。
上一篇:GB/T 14145─1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法