国家标准 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
GB/T 14143-1993 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
起草单位:机电部第四十六研究所。
上一篇:GB/T 14140.1─1993 硅片直径测量方法 光学投影法