国家标准 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
起草单位：机电部四十六所。
GB/T 14847─1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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GB/T 14847-1993标准状态
- 发布于：1993-12-30
- 实施于：1994-09-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
起草单位：机电部四十六所。