国家标准 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
起草单位:上海有色金属研究所。
上一篇:GB/T 6624─1995 硅抛光片表面质量目测检验方法