国家标准 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
起草单位：化工部西南化工研究院。
GB/T 15909─1995 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
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GB/T 15909-1995标准状态
- 发布于：1995-12-20
- 实施于：1996-08-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
起草单位：化工部西南化工研究院。