国家标准 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
起草单位：南开大学、天津市半导体材料厂。
GB/T 17169─1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
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GB/T 17169-1997标准状态
- 发布于：1997-12-22
- 实施于：1998-08-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
起草单位：南开大学、天津市半导体材料厂。