国家标准 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
起草单位：中国科学院缩微电子中心。
GB/T 16878─1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
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GB/T 16878-1997标准状态
- 发布于：1997-06-20
- 实施于：1998-03-01
- *非实时更新以实际为准
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