国家标准 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
起草单位：上海曙光机械制造厂。
GB/T 11164─1999 真空镀膜设备通用技术条件
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GB/T 11164-1999标准状态
- 发布于：1999-04-08
- 实施于：1999-09-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 真空镀膜设备通用技术条件
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起草单位：上海曙光机械制造厂。