国家标准 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
起草单位：武汉材料保护研究所。
GB/T 18682─2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
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GB/T 18682-2002标准状态
- 发布于：2002-03-10
- 实施于：2002-08-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
起草单位：武汉材料保护研究所。