国家标准 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司。
GB/T 19922─2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
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GB/T 19922-2005标准状态
- 发布于：2005-09-19
- 实施于：2006-04-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司。