国家标准 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
起草单位：清华大学电子工程系。
起草人：查良镇 、陈旭 、黄雁华 、王光普 、黄天斌 、刘林等 。
GB/T 20176─2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
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GB/T 20176-2006标准状态
- 发布于：2006-03-27
- 实施于：2006-11-01
- *非实时更新以实际为准