国家标准 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
起草人:梁洪 、过惠芬 、吴道荣 。
国家标准 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
起草人:梁洪 、过惠芬 、吴道荣 。