国家标准 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
起草单位：有研半导体材料股份有限公司。
起草人：孙燕 、卢立延 、杜娟 、翟富义 、高玉锈 。
GB/T 13388─2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
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GB/T 13388-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
起草单位：有研半导体材料股份有限公司。
起草人：孙燕 、卢立延 、杜娟 、翟富义 、高玉锈 。