国家标准 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂。
起草人:何秀坤 、李静 、段曙光 、梁洪 。
国家标准 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂。
起草人:何秀坤 、李静 、段曙光 、梁洪 。