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GB/T 1558─2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

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GB/T 1558-2009标准状态

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硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法简介

国家标准 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂。

起草人:何秀坤 、李静 、段曙光 、梁洪 。

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