国家标准 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司、万向硅峰电子股份有限公司。
起草人:张静雯 、蒋建国 、田素霞 、刘玉芹 、楼春兰 。
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