国家标准 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
起草人：何友琴 、马农农 、丁丽 。
GB/T 24575─2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
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GB/T 24575-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- *非实时更新以实际为准