国家标准 硅片表面平整度测试方法
GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
起草单位：上海合晶硅材料有限公司。
起草人：徐新华 、严世权 、王珍 。
GB/T 6621─2009 硅片表面平整度测试方法
GB/T 6621-2009 下载需要10金币，升级会员免费下载。
GB/T 6621-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 硅片表面平整度测试方法
GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
起草单位：上海合晶硅材料有限公司。
起草人：徐新华 、严世权 、王珍 。