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GB/T 14140─2009 硅片直径测量方法

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GB/T 14140-2009标准状态

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硅片直径测量方法简介

国家标准 硅片直径测量方法

GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司。

起草人:刘玉芹 、蒋建国 、张静雯 、冯校亮 。

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