国家标准 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。
起草人:邹蒙 、张勤德 、朱国精 、马殿理 、李春影 。
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