国家标准 微机电系统（MEMS）技术 术语
GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。
起草人：丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。
GB/T 26111─2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
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GB/T 26111-2010标准状态
- 发布于：2011-01-10
- 实施于：2011-10-01
- *非实时更新以实际为准