国家标准 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。
起草人：曹孜 、孙燕 、黄黎 、高英等 。
GB/T 26068─2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
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GB/T 26068-2010标准状态
- 发布于：2011-01-10
- 实施于：2011-10-01
- *非实时更新以实际为准