国家标准 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
起草单位：苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院等。
起草人：王尧 、陈刚 、缪德骅 、涂有 、乐细明等 。
GB/T 25915.6─2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
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GB/T 25915.6-2010标准状态
- 发布于：2011-01-14
- 实施于：2011-05-01
- *非实时更新以实际为准