国家标准 离子束蚀刻机通用规范
GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。
起草人：陈特超 、周大良 。
GB/T 15861─2012 离子束蚀刻机通用规范
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GB/T 15861-2012标准状态
- 发布于：2012-11-05
- 实施于：2013-02-15
- *非实时更新以实际为准
国家标准 离子束蚀刻机通用规范
GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。
起草人：陈特超 、周大良 。