国家标准 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
起草人：孙燕 、李莉 、卢立延 、翟富义 、向磊 。
GB/T 29505─2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
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GB/T 29505-2013标准状态
- 发布于：2013-05-09
- 实施于：2014-02-01
- *非实时更新以实际为准