国家标准 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
起草单位:上海华虹NEC电子有限公司。
起草人:王雷 、伍强 、朱骏 、陈宝钦 。
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