国家标准 半导体生产设施电磁兼容性要求
GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司。
起草人:黄英华 、谭建国 、刘军 、周历群 、钟华 、冯亚彬 。
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