GB/T 30453─2013 硅材料原生缺陷图谱

国家标准 硅材料原生缺陷图谱

GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、杭州海纳半导体有公司、万向硅峰电子股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、中国有色金属工业标准化计量质量研究所。

起草人：孙燕 、曹孜 、翟富义 、杨旭 、谭卫东 、黄笑容等 。