国家标准 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
起草单位:中国计量科学研究院。
起草人:王海 、宋小平 、王梅玲 、高思田 、冯流星 。
国家标准 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
起草单位:中国计量科学研究院。
起草人:王海 、宋小平 、王梅玲 、高思田 、冯流星 。