国家标准 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
起草人：李慧琴 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。
GB/T 31227─2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
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GB/T 31227-2014标准状态
- 发布于：2014-09-30
- 实施于：2015-04-15
- *非实时更新以实际为准