国家标准 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
起草单位：中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司。
起草人：李天笑 、黄祖广 、王海涛 、田保峡 、郭和平 、沈红 、孙东曦 、潘菊凤 、孙岩 、刘忠武 、张志强 、李补忠 、薛瑞娟 。