GB/T 31058─2014 电子工业用气体 四氟化硅

国家标准 电子工业用气体 四氟化硅

GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司。

起草人：邓建平 、李于教 、傅铸红 、汤有伦 、崔学文 、方华等 。