GB/T 32188─2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

国家标准 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。

起草人：邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。