国家标准 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。
起草人：张大成 、杨芳 、李海斌 、王玮 、何军 、黄贤 、刘冲 、刘伟 、邹赫麟 、田大宇 、姜博岩 。
GB/T 32816─2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
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GB/T 32816-2016标准状态
- 发布于：2016-08-29
- 实施于：2017-03-01
- *非实时更新以实际为准