国家标准 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学。
起草人:张威 、程红兵 、陈得民 、李海斌 、崔波 、石云波 、朱悦 。
国家标准 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学。
起草人:张威 、程红兵 、陈得民 、李海斌 、崔波 、石云波 、朱悦 。