国家标准 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
起草单位：中国计量科学研究院。
起草人：王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。
GB/T 36053─2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
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GB/T 36053-2018标准状态
- 发布于：2018-03-15
- 实施于：2019-02-01
- *非实时更新以实际为准