国家标准 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。
起草人:胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。
国家标准 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。
起草人:胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。