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GB/T 37254─2018 高纯碳化硅 微量元素的测定

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GB/T 37254-2018标准状态

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高纯碳化硅 微量元素的测定简介

此标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-OES)法和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法。

此标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于99.9%的高纯碳化硅材料中铝、砷、钙、铬、铜、铁、汞、钾、镁、锰、钠、镍、铅、硫、钛、锌等16种元素的测定。各元素的测定范围见表1(以质量分数计)。

GB/T 37254-2018 高纯碳化硅 微量元素的测定

起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所、宁波伏尔肯机械密封件制造有限公司。

起草人:陈奕睿 、邬国平 、朱燕 、屈海云 、汪正 、邹慧君 、黄伟峰 、谢方民 。

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