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GB/T 37213─2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法

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GB/T 37213-2018标准状态

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硅晶锭尺寸的测定 激光法简介

此标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法,包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。

此标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。

GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法

起草单位:苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司。

起草人:宫龙飞 、金善明 、林清香 、夏根平 、唐珊珊 、刘坤 。

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