此标准描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。
此标准适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。
GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
起草单位：中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、凯鑫森（上海）功能性薄膜产业股份有限公司、东莞市光志光电有限公司。
起草人：夏江南 、高建辉 、姜宁 、赵朔 、田坤 、韩明星 、程媛 、李宗 、刘玉磊 、刘文亮 、姚一凡 、李文沾 、赵建明 、曹建 、周鹏 、罗惠滨 。