此标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
起草单位：中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学。
起草人：李伟 、蔡潇雨 、李适 、杨树明 、程碧瑶 、魏佳斯 、高思田 。
GB/T 42659─2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
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GB/T 42659-2023标准状态
- 发布于：2023-08-06
- 实施于：2024-03-01
- *非实时更新以实际为准