GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

此标准描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。

此标准适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。

GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

起草单位：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。

起草人：顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。