此标准规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉（CSI）测量系统的计量特性。
GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性
起草单位：清华大学、天津大学、厦门市计量检定测试院、江苏锐精光电研究院有限公司、中机生产力促进中心有限公司、中国计量大学、北京时代之峰科技有限公司、枣庄有规信息科技有限公司、中机研标准技术研究院（北京）有限公司。
起草人：尉昊赟 、郭彤 、郑伟峰 、陈刚 、孔明 、郝建国 、张宗政 、朱悦 。