此标准规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,此标准还规定了一种用于确定校准周期的方法。
此标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
起草单位:清华大学、中国石油大学(北京)。
起草人:姚文清 、杨立平 、徐同广 、王雅君 、段建霞 、李展平 。