此标准界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
此标准适用于微机电技术领域。
GB/T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置
起草单位：中机生产力促进中心、芜湖中集瑞江汽车有限公司、广东瑞克斯智能科技有限公司、北京大学、芜湖市标准化研究院、东莞市吉铼升电机股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、福州华虹智能科技股份有限公司、广东万江配电有限公司、浙江博亚精密机械有限公司。
起草人：蒯勇 、张威 、李桂芳 、李婧 、范远斌 、申延智 、倪圣叨 、李英 、王本雄 、蓝秀堂 、姜圆 、陆学贵 。