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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

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XB/T 515-2020标准状态

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钪铝合金靶材简介

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。

XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

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