适用于半导体制造设备
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
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SJ/T 11763-2020标准状态
- 发布于：2020-12-09
- 实施于：2021-04-01
- *非实时更新以实际为准
适用于半导体制造设备
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等