本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
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YS/T 1392-2020标准状态
- 发布于：2020-12-09
- 实施于：2021-04-01
- *非实时更新以实际为准
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法