SJ/T 11668-2017 电真空器件真空炉能源消耗规范
起草单位:北京七星华创电子股份有限公司、中国电子科技集团第五十四研究所、中国电子技术标准化研究院等
起草人:周玉锋、闫琪、杨卫平 等
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