SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：丁丽、何友琴、郑红军 等
SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
SJ/T 11503-2015 下载需要10金币，升级会员免费下载。
SJ/T 11503-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准
SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：丁丽、何友琴、郑红军 等